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GB/T 8758-2006砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法

中文名稱：砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法

英文名稱：Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

標準號：GB/T 8758-2006

標準類型CN

發布日期：2006-7-18

實施日期：2006-11-1

摘要：本標準適用于砷化鎵外延層厚度的測量，測量厚度大于2UM。要求襯底材料的電阻率小于0.02，外延層的電阻率大于0.1 。

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