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GB/T 30652-2014硅外延用三氯氫硅

中文名稱：硅外延用三氯氫硅

英文名稱：Trichlorosilane for silicon epitaxial

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 30652-2014

標(biāo)準(zhǔn)類型CN

發(fā)布日期：2014-12-31

實(shí)施日期：2015-9-1

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